0371-5536 5392 0371-5519 9322
○ 產(chǎn)品介紹
PECVD石墨烯薄膜制備系統(tǒng)借助13.56MHz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內(nèi)形成等離子體,利用等離子體的強(qiáng)化學(xué)活性,改善反應(yīng)條件,使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制備系統(tǒng)設(shè)備可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種實驗場所。
○ 適用范圍
PECVD石墨烯薄膜制備系統(tǒng)設(shè)備可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種實驗場所。
○ 技術(shù)參數(shù)
多溫區(qū)加熱系統(tǒng)
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
工作溫度
室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃
02
加熱區(qū)長度
三溫區(qū)加熱,各溫區(qū)可獨立控溫,恒溫區(qū)長度為550
03
控制模式
30段智能PID 多段程序控溫
04
控溫精度
±1℃
05
升溫速率
0~20℃/min
06
測溫元件
3支K型熱電偶
07
溫控保護(hù)
具有超溫和斷偶保護(hù)功能
08
爐管
高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度
09
爐管尺寸
石英管外徑100mm
10
爐膛結(jié)構(gòu)
開啟式
11
爐膛材料
進(jìn)口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻
12
密封方式
真空不銹鋼水冷法蘭
13
閥門
KF25擋板閥
14
電源
380V/220V 50Hz
15
溫度記錄
可以實現(xiàn)溫度曲線記錄
16
爐殼溫度
≦45℃
單溫區(qū)加熱系統(tǒng)
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
工作溫度
室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃
02
加熱區(qū)長度
單溫區(qū)加熱,恒溫區(qū)長度為200mm
03
控制模式
30段智能PID 多段程序控溫
04
控溫精度
±1℃
05
升溫速率
0~20℃/min
06
測溫元件
K型熱電偶
07
溫控保護(hù)
具有超溫和斷偶保護(hù)功能
08
爐管
高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度
09
爐管尺寸
石英管外徑100mm
10
爐膛結(jié)構(gòu)
開啟式
11
爐膛材料
進(jìn)口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻
12
密封方式
真空不銹鋼水冷法蘭
13
閥門
KF25擋板閥
14
電源
380V/220V 50Hz
15
溫度記錄
可實現(xiàn)溫度曲線記錄
16
爐殼溫度
≦45℃
RF輸出系統(tǒng)
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
功率范圍
0~500W連續(xù)可調(diào)
02
工作頻率
13.56MHz+0.005%
03
工作模式
連續(xù)輸出
04
顯示模式
LCD
05
匹配阻抗范圍
能夠匹配,起輝輝光均勻布滿三溫區(qū)爐管
06
功率穩(wěn)定度
≦2W
07
正常工作反射功率
≦3W
08
較大反射功率
≦70W
09
諧波分量
≦-50dBc
10
整機(jī)效率
≥70%
11
功率因素
≥90%
12
供電電壓/頻率
單相交流(187V~253V) 頻率50/60HZ
13
控制模式
內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485 通訊
14
電源保護(hù)設(shè)置
DC 過流保護(hù),功放過溫保護(hù),反射功率保護(hù)
15
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷
16
起輝長度
在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光需能布滿整個三溫區(qū)的爐體長度
氣體流量控制
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
四路質(zhì)子流量計
北京七星華創(chuàng),質(zhì)子流量計
02
流量范圍
MFC1量程:0~200sccm MFC2量程:0~200sccm
MFC3量程:0~500sccm MFC4量程:0~500sccm
分別對應(yīng)氣體 H2、CH4、N2、Ar
03
測量精度
±1.5%F.S.
04
重復(fù)精度
±0.2% FS
05
線性精度
±1%F.S.
06
響應(yīng)時間
≤4sec
07
工作壓力
-0.15MPa~0.15MPa
08
流量控制
液晶觸摸屏控制,數(shù)字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制
09
進(jìn)氣接口
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管
10
出氣接口
可接1/4NPS或外徑6mm不銹鋼管
11
連接方式
雙卡套接頭
12
工作溫度
5~45℃
13
氣體預(yù)混
配氣體預(yù)混裝置
真空要求
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
真空泵
配置進(jìn)口或國產(chǎn)真空泵,爐管背景真空達(dá)5×10-1 Pa
02
系統(tǒng)漏率
≤1.4×10-3 Pa.L/s
03
真空測量
Inficon防腐蝕超純陶瓷傳感器
04
真空測量范圍
0.01Pa~1000Pa,測量精度0.2%
05
真空壓力表
配置一個通用真空壓力表用于系統(tǒng)真空粗測
06
連接管道
不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭與真空泵連接
軌道功能
序號
功能名稱
技術(shù)要求
01
滑軌長度
2.5米~3米,能實現(xiàn)三溫區(qū)爐子一個爐位長度的滑動,實現(xiàn)快速升降溫
02
主要參數(shù)
手動滑動,可實現(xiàn)管式爐和等離子體發(fā)生器的滑動控制,達(dá)到快速降溫,射頻放射調(diào)節(jié)
03
特殊定制
軌道上安裝方便拆卸的法蘭支架,用以支撐爐管長度改變時的端口法蘭;單溫區(qū)爐子可以拆裝至滑軌上與等離子體源配合使用;等離子體發(fā)生器可以拆卸
○ 滑軌需要滿足的要求
(1)常用方式是:等離子體發(fā)生器+三溫區(qū)爐配合,其中導(dǎo)軌可以讓三溫區(qū)爐有一個爐位的滑動;
(2)希望的搭配使用方式1是:等離子體發(fā)生器+單溫區(qū)管式爐;
(3)希望的搭配使用方式2是:單溫區(qū)管式爐+等離子體發(fā)生器+三溫區(qū)爐(此時三溫區(qū)爐不需要滑動快速升降溫)
需要做到單溫區(qū)爐體能夠比較方便地裝到(1)方式的滑軌上,并且石英管兩端的法蘭支架可以在導(dǎo)軌長度內(nèi)調(diào)節(jié),能滿足不同爐管長度條件下對法蘭的支撐。
○ 免責(zé)聲明
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